| 000 | 01187nam a2200265 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20211012144628.0 | ||
| 008 | 050113s1990 ru ad||fr|||||000|0|rus|| | ||
| 020 | _a5-03-000363-0 (русск.) | ||
| 020 | _a4-7530-4851-9 (яп.) | ||
| 040 |
_brus _dAM-YeNLA |
||
| 041 | 1 |
_arus _hjpn |
|
| 245 | 0 | 0 |
_aЧистые помещения / _cИ. Хаякава и др.; Под ред.: И. Хаякавы; Пер. с яп. В.Ю. Акифьева и др. ; Под ред. В.Г. Ржанова, В.И. Ушакова. |
| 260 |
_aМосква : _bМир, _c1990. |
||
| 300 |
_a454 с. : _bил. |
||
| 500 | _aАвт. указаны перед вып. дан. | ||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 439-450 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЧистые производственные помещения |
| 650 | 1 | 4 | _aМикроэлектронные схемы интегральные - Производство |
| 700 | 1 |
_aХаякава Ития _eавт. _4aut _eред. _4edt |
|
| 700 | 1 |
_aРжанов, В.Г. _eпер. _4trl _eред. _4edt |
|
| 700 | 1 |
_aУшаков, В.И. _eпер. _4trl _eред. _4edt |
|
| 700 | 1 |
_aАкифьев, В.Ю. _eпер. _4trl |
|
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c341656 _d341656 |
||