000 01207nam a2200277 a 4500
001 000389495
003 AM-YeNLA
005 20230221162337.0
008 230221s1988 bw a||||r|||||001|0|rus||
020 _a5-343-00264-1
040 _dAM-YeNLA
_brus
041 0 _arus
080 _a681.2 (NLA)
100 1 _aАлександров, Владимир Кузьмич
245 1 0 _aОптико-электронные средства размерного контроля технологических микрообъектов /
_cВ.К. Александров, Ю.Н. Биенко, В.Н. Ильин ; Ин-т электроники АН БССР.
260 _aМинск :
_bНаука и техника,
_c1988.
300 _a239, [1] c. :
_bил. ;
_c21 см.
504 _aСписок лит. с. 233-238
650 1 4 _aПриборостроение
650 1 4 _aИзмерительная техника
700 1 _aБиенко, Юрий Николаевич
700 1 _aИльин, Виктор Николаевич
710 2 _aАкадемия наук Белорусской ССР
_bИнститут электроники
942 _2udc
_cBK
998 _cNLA_AVARMINE
999 _c329289
_d329289