000 00942nam a2200193 a 4500
001 000383967
003 AM-YeNLA
005 20190426112747.0
008 041118s1976 ||||||||||||||||||||rus d
041 0 _arus
100 1 _aБатавин, Виталий Васильевич.
245 1 0 _aКонтроль параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слоев /
_cВ.В. Батавин.
260 _aМосква :
_bСов. радио,
_c1976.
300 _a104 с. :
_b46 рис., 7 табл.
440 0 _aМассовая библиотека инженера "Электроника"
_vВып. 9
504 _aБиблиогр. 117 назв.
650 1 4 _aПолупроводники
650 1 4 _aТепловые двигатели в целом. Получение, распределение и использование пара. Паровые машины
999 _c324219
_d324219