| 000 | 01012nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000379266 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190426112343.0 | ||
| 008 | 041104s1981 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aОрлов, В.И. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aОткачные высоковакуумные системы и их элементная база : _bОбзоры по электронной технике / _cВ.И. Орлов; Министерство электронной промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bИзд-во ЦНИИ "Электроника", _c1981. |
||
| 300 |
_a76 с. _bил. |
||
| 440 | 0 |
_aТехнология, организация производства и оборудование _nВып. 10(795) |
|
| 504 | _bБиблиогр.: 73 (84 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aВысоковакуумные системы |
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c319757 _d319757 |
||