000 01025nam a2200205 a 4500
001 000374854
003 AM-YeNLA
005 20190426111340.0
008 040604s1971 ||| r 000 0 rus d
040 _aAM, ACSTI
041 0 _arus
100 1 _aБерезин, Михаил Иванович.
245 1 0 _aОткачные высоковакуумные системы и их элементы :
_bОбзоры по электронной технике /
_cМ.И. Березин; Министерство электронной промышленности СССР.
260 _aМосква :
_bЦНИИ "Электроника",
_c1971.
300 _a43 с.
_bил.
440 0 _aТехнология и организация производства
_nВып. 11 (283)
504 _aБиблиогр.: с. 41 (24 назв.)
650 1 4 _aВысоко- и сверхвысоковакуумные системы
710 2 _aМинистерство электронной промышленности СССР
999 _c315445
_d315445