000 01047nam a2200205 a 4500
001 000346101
005 20170506131605.0
008 040604s1981 ||| r 000 0 rus d
040 _aAM, ACSTI
041 0 _arus
100 1 _aРоманов, А.С.
245 1 0 _aМеханические напряжения в тонких пленках :
_bРеферативно-аналитический обзор : Обзоры по электронной технике /
_cА.С. Романов, В.В. Щеглова; Министерство электронной промышленности СССР.
260 _aМосква :
_bЭлектроника,
_c1981.
300 _a68 с.
_bил.
440 0 _aСерия 2. Полупроводниковые приборы.
_nВып. 6
504 _aБиблиогр.: с. 63 - 68 (87 назв.)
650 1 4 _aМеханические напряжения
700 1 _aЩеглова, В.В.
710 2 _aМинистерство электронной промышленности СССР
999 _c287529
_d287529