| 000 | 01192nam a2200217 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000345774 | ||
| 005 | 20221203181117.0 | ||
| 008 | 040622s1975 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aТермическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом: _bОбзоры по электронной технике. _nЧасть 2 / _cД.Б. Зворыкин, В.Е. Александров, Б.Л. Байкальцев и др.; Мин-во электронной промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЭлектроника, _c1975. |
||
| 300 | _a81 с. | ||
| 440 | 0 | _aСерия 2. Полупроводниковые приборы. Вып. 12 | |
| 504 | _bБиблиогр.: 129 назв. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aПолупроводниковые приборы |
| 700 | 1 | _aЗворыкин, Д.Б. | |
| 700 | 1 | _aАлександров, В.Е. | |
| 700 | 1 | _aБайкальцев, Б.Л. | |
| 710 | 2 | _aМин-во электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c287211 _d287211 |
||