| 000 | 01249nam a2200217 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000345486 | ||
| 005 | 20221203181113.0 | ||
| 008 | 040617s1975 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aТермическое оборудование полупроводникового и микроэлектронного производства с лучистым инфракрасным нагревом : _nЧ. 1 : _bОбзоры по электронной технике / _cД.Б. Зворыкин, В.Е. Александров, Б.Л. Байкальцев и др.; Министерство электронной промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1975. |
||
| 300 |
_a85 с. _bрис., табл. |
||
| 440 | 0 |
_aПолупроводниковые приборы _nВып. 11 (331) |
|
| 504 | _aБиблиогр.: с. 77 - 85 (129 назв.). | ||
| 650 | 1 | 4 | _aТермическое оборудование |
| 700 | 1 | _aЗворыкин, Д.Б. | |
| 700 | 1 | _aАлександров, В.Е. | |
| 700 | 1 | _aБайкальцев, Б.Л. | |
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c286930 _d286930 |
||