| 000 | 00901nam a2200169 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000345190 | ||
| 005 | 20230904075344.0 | ||
| 008 | 040113s1968 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aСборник научных трудов по проблемам микроэлектроники / _cМосковский институт электронной техники; Министерство высшего и среднего специального образования СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bБ. и., _c1968. |
||
| 300 |
_a216 с. _bил. |
||
| 504 | _bБиблиогр.: 5 назв. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aСборник трудов |
| 710 | 2 |
_aМинистерство высшего и среднего специального образования СССР _bМосковский институт электронной техники |
|
| 999 |
_c286652 _d286652 |
||