000 01251nam a2200169 a 4500
001 000344424
005 20170506131139.0
008 040514s1969 ||| r 000 0 rus d
040 _aAM, ACSTI
041 0 _arus
245 0 0 _aСовершенствование технологии производства полупроводниковых приборов и материалов :
_bОбзор /
_cГосударственный плановый комитет Совета Министров УССР, Государственный научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований.
260 _aКиев :
_bУкрНИИНТИ,
_c1969.
300 _a67 с.
650 1 4 _aПолупроводниковые приборы и материалы
710 2 _aГосударственный плановый комитет Совета Министров УССР
710 2 _aГосударственный научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований
999 _c285909
_d285909