| 000 | 00797nam a2200193 u 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000344194 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20180822093426.0 | ||
| 008 | 040617s1979 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aЧистяков, Юрий Дмитриевич | |
| 245 | 1 | 0 |
_aФизико-химические основы технологии микроэлектроники : _bУчебное пособие для вузов / _cЮ.Д. Чистяков, Ю.П. Райнова. |
| 260 |
_aМосква : _bМеталлургия, _c1979. |
||
| 300 |
_a408 с. : _bил., табл. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 400 - 403; Предмет. указ.: с. 404 - 405 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМикроэлектроника |
| 700 | 1 | _aРайнова, Ю.П. | |
| 999 |
_c285683 _d285683 |
||