| 000 | 00728nam a2200181 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000344009 | ||
| 005 | 20170506131039.0 | ||
| 008 | 040616s1982 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aФизико-химические методы обработки поверхности полупроводников / _cБ.Д. Луфт, В.А. Перевощиков, Л.Н. Возмилова и др.; Под ред. Б.Д. Луфт. |
| 260 |
_aМосква : _bРадио и связь, _c1982. |
||
| 300 |
_a136 с. _bил. |
||
| 653 | 1 | _aЛуфт, Б.Д. | |
| 653 | 1 | _aПеревощиков, В.А. | |
| 700 | 1 | _aВозмилова, Л.Н. | |
| 700 | 1 |
_aЛуфт, Б.Д. _eред. _4edt |
|
| 999 |
_c285501 _d285501 |
||