| 000 | 00731nam a2200169 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000343274 | ||
| 005 | 20221203181018.0 | ||
| 008 | 040614s1967 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aФотолитография в производстве изделий электронной техники: _bОбзор / _cМин-во электронной промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЦНИИТЭИ, _c1967. |
||
| 300 | _a23 с. | ||
| 440 | 0 | _aТехнология и организация производства | |
| 650 | 1 | 4 |
_aФотолитография _9335750 |
| 710 | 2 | _aМин-во электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c284779 _d284779 |
||