000 | 00885nam a2200193 a 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 000342383 | ||
005 | 20170519223901.0 | ||
008 | 040113s1973 ||| r 000 0 rus d | ||
040 | _aAM, ACSTI | ||
041 | 1 |
_arus _heng |
|
100 | 1 | _aТопфер, М. | |
245 | 1 | 0 |
_aМикроэлектроника толстых пленок : _bТехнология, Конструирование, применение / _cМ. Топфер ; Пер. с англ. под ред. Т.Д. Шермергора. |
260 |
_aМосква : _bМир, _c1973. |
||
300 |
_a260 с. : _bил. |
||
504 | _bБиблиогр. 4 назв. | ||
534 |
_pОригинал на англ. : _iThick - Film Microelectronics / _aMorton L. Topfer - _cNew York : Van Nostrand Reinhold Company : 1971 |
||
650 | 1 | 4 | _aМикроэлектроника |
700 | 1 |
_aШермергор, Т.Д. _eпер _4trl _eред. _4edt |
|
999 |
_c283907 _d283907 |