000			01208nam a2200217 a 4500
001			000341773
005			20170506130443.0
008			040608s1970 ||| r 000 0 rus d
040			_aAM, ACSTI
041	0		_arus
245	0	0	_aСтатистические методы анализа и контроля качества в полупроводниковом производстве : _bОбзоры по электронной технике / _cВ.П. Кульвинова, Т.А. Иоаннисянц, А.И. Кочетков и др.; Министерство электронной промышленности СССР.
260			_aМосква : _bИнститут "Электроника", _c1970.
300			_a34 с. _bтабл.
440		0	_aТехнология и организация производства _nВып. 11 (183)
504			_aБиблиогр.: с. 32 (6 назв.)
650	1	4	_aПолупроводниковое производство
700	1		_aКульвинова, В.П.
700	1		_aИоаннисянц, Т.А.
700	1		_aКочетков, А.И.
710	2		_aМинистерство электронной промышленности СССР
999			_c283309 _d283309