| 000 | 01189nam a2200217 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000341768 | ||
| 005 | 20170506130443.0 | ||
| 008 | 040608s1977 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aСостояние и перспективы развития МОП и биполярной технологий изготовления интегральных схем : _bОбзоры по электронной технике / _cМ.Е. Аграновская, С.Н. Берман, И.А. Васильева и др.; Министерство электронной промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bИнститут "Электроника", _c1977. |
||
| 300 |
_a39 с. _bрис., табл. |
||
| 440 | 0 |
_aСер. 3. Микроэлектроника _nВып. 1 (454) |
|
| 504 | _aБиблиогр.: с. 37 - 38 (107 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМОП и интегральные схемы |
| 700 | 1 | _aАграновская, М.Е. | |
| 700 | 1 | _aБерман, С.Н. | |
| 700 | 1 | _aВасильева, И.А. | |
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c283304 _d283304 |
||