000 00965nam a2200205 a 4500
001 000341681
005 20170519223859.0
008 040609s1985 ||| r 000 0 rus d
041 1 _arus
_heng
100 1 _aТилл, Уильям
245 1 0 _aИнтегральные схемы :
_bМатериалы. Приборы. Изготовление /
_cУ. Тилл, Дж. Лаксон ; Пер. с англ. М.Б. Левина, В.Г. Микуцкого.
260 _aМосква :
_bМир,
_c1985.
300 _a501 с. :
_bил.
534 _pОригинал на англ.:
_iIntegrated Circuits :
_kMaterials, Devices and Fabrication /
_aWilliam C. Till, James T. Luxon -
_cNew Jersey : Prentice-Hall : 1982
504 _aБиблиогр. в конце глав.
650 1 4 _aИнтегральные схемы
700 1 _aЛаксон, Джеймс
700 1 _aЛевин, М.Б.
_eпер.
_4trl
700 1 _aМикуцкий, В.Г.
_eпер.
_4trl
999 _c283219
_d283219