000			00972nam a2200205 a 4500
001			000341563
005			20170516134107.0
008			040608s1972 ||||||||||||||||||||rus d
041	0		_arus
245	0	0	_aТонкие неорганические пленки в микроэлектронике / _cА.И. Борисенко, В.В. Новиков, Н.Е. Приходько и др.; АН СССР, Ин-т химии силикатов им. Гребенщикова.
260			_aЛенинград : _bНаука. Ленингр. отд-ние, _c1972.
300			_a115 с. : _bрис.
504			_aБиблиогр.: с. 107 - 113 (108 назв.).
650	1	4	_aПленки в микроэлектронике
700	1		_aБорисенко, А.И.
700	1		_aНовиков, В.В.
700	1		_aПриходько, Н.Е.
710	2		_aАН СССР
710	2		_aИнститут химии силикатов им. Гребенщикова _914873
999			_c283104 _d283104