000 | 00972nam a2200205 a 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 000341563 | ||
005 | 20170516134107.0 | ||
008 | 040608s1972 ||||||||||||||||||||rus d | ||
041 | 0 | _arus | |
245 | 0 | 0 |
_aТонкие неорганические пленки в микроэлектронике / _cА.И. Борисенко, В.В. Новиков, Н.Е. Приходько и др.; АН СССР, Ин-т химии силикатов им. Гребенщикова. |
260 |
_aЛенинград : _bНаука. Ленингр. отд-ние, _c1972. |
||
300 |
_a115 с. : _bрис. |
||
504 | _aБиблиогр.: с. 107 - 113 (108 назв.). | ||
650 | 1 | 4 | _aПленки в микроэлектронике |
700 | 1 | _aБорисенко, А.И. | |
700 | 1 | _aНовиков, В.В. | |
700 | 1 | _aПриходько, Н.Е. | |
710 | 2 | _aАН СССР | |
710 | 2 |
_aИнститут химии силикатов им. Гребенщикова _914873 |
|
999 |
_c283104 _d283104 |