| 000 | 00916nam a2200181 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000339877 | ||
| 005 | 20221203180856.0 | ||
| 008 | 040521s1975 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aПыхтунова, А.И. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aПроблемы надежности многоуровневой металлизации больших интегральных схем : _bКраткий обзор по иностранным источникам / _cА.И. Пыхтунова; Мин-во электронной промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1975. |
||
| 300 |
_a54 с. _bтабл. |
||
| 440 | 0 |
_aПолупроводниковые приборы _nВып. 13 |
|
| 650 | 1 | 4 | _aИнтегральные схемы |
| 710 | 2 | _aМин-во электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c281458 _d281458 |
||