| 000 | 00740nam a2200157 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000337246 | ||
| 005 | 20170519223848.0 | ||
| 008 | 040521s1981 ||| r 000 0 rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 245 | 0 | 0 |
_aОборудование полупроводникового производства / _cП.Н. Масленников и др. ; Под ред. П.Н. Масленникова. |
| 260 |
_aМосква : _bРадио и связь, _c1981. |
||
| 300 |
_a336 с. : _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр. с. 330 - 333 (91 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aОборудование полупроводникового производства |
| 700 | 1 |
_aМасленников, Павел Николаевич _eавт. _4aut _eред. _4edt |
|
| 999 |
_c278928 _d278928 |
||