| 000 | 00879nam a2200181 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000335925 | ||
| 005 | 20170506124818.0 | ||
| 008 | 040518s1980 ||| r 000 0 rus d | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aМоряков, Олег Сергеевич. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aВакуумно-термические и термические процессы в полупроводниковом производстве : _bУчебник для профтехучилищ / _cО.С. Моряков. |
| 250 | _a2-е изд., перераб. и доп. | ||
| 260 |
_aМосква : _bВысшая школа, _c1980. |
||
| 300 |
_a182 с. _bил. |
||
| 440 | 0 | _aПрофтехобразование. Полупроводники | |
| 504 | _aБиблиогр.: с. 178. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aПолупроводниковое производство - Термические процессы |
| 999 |
_c277676 _d277676 |
||