000 00699nam a2200169 a 4500
001 000335903
005 20170506124814.0
008 040518s1987 ||| r 000 0 rus d
041 0 _arus
100 1 _aМоряков, Олег Сергеевич.
245 1 0 _aТермические процессы в микроэлектронике :
_bУчебник для профтехучилищ /
_cО.С. Моряков.
250 _a3-е изд., перераб. и доп.
260 _aМосква :
_bВысшая школа,
_c1987.
300 _a200 с.
_bил.
504 _aБиблиогр.: с. 197.
650 1 4 _aМикроэлектроника - Термические процессы
999 _c277655
_d277655