000 00727nam a2200181 u 4500
001 000335843
003 AM-YeNLA
005 20180822093415.0
008 040518s1977 ||| r 000 0 rus d
040 _aAM, ACSTI
041 0 _arus
100 1 _aНиколаев, Игорь Моисеевич
245 1 0 _aОборудование и технология производства полупроводниковых приборов :
_bУчебное пособие /
_cИ.М. Николаев.
260 _aМосква :
_bВысшая школа,
_c1977.
300 _a269 с. :
_bил., схем.
504 _aБиблиогр.: с. 267 (19 назв.)
650 1 4 _aПолупроводниковые приборы
999 _c277597
_d277597