| 000 | 00973nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000334753 | ||
| 005 | 20221203180603.0 | ||
| 008 | 040514s1972 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aЛитовченко, В.Г. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aДиэлектрические покрытия в планарной технологии : _bОбзоры по электронной технике / _cВ.Г. Литовченко, Ю.В. Федорович; Мин-во электронной промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1972. |
||
| 300 |
_a100 с. _bграф. |
||
| 440 | 0 |
_aПолупроводниковые приборы. _nВып. 1 |
|
| 504 | _aБиблиогр.: с. 96 - 98 | ||
| 650 | 1 | 4 | _aПланарная технология |
| 700 | 1 | _aФедорович, Ю.В. | |
| 710 | 2 | _aМин-во электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c276583 _d276583 |
||