000 00642nam a2200157 a 4500
001 000334545
005 20170506124419.0
008 040513s1981 ||| r 000 0 rus d
040 _aAM, ACSTI
041 0 _arus
245 0 0 _aМатериалы для электроники (методы получения и анализа, исследования свойств) :
_bСборник научных трудов /
_cВНИИРеактивэлектрон.
260 _aМосква :
_bНИИТЭХИМ,
_c1981.
300 _a152 с. :
_bтабл.
650 1 4 _aЭлектроника
710 2 _aВНИИРеактивэлектрон
999 _c276388
_d276388