| 000 | 00843nam a2200193 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000331706 | ||
| 005 | 20170519223834.0 | ||
| 008 | 040421s1979 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aКурносов, Анатолий Иванович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aТехнология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : _bУчебное пособие / _cА.И Курносов, В.В. Юдин. |
| 250 | _a2-е изд., перераб. и доп. | ||
| 260 |
_aМосква : _bВысшая школа, _c1979. |
||
| 300 |
_a367 с. : _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр. 9 назв. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aПолупроводниковые приборы |
| 700 | 1 | _aЮдин, Владимир Васильевич | |
| 999 |
_c273693 _d273693 |
||