000 01151nam a2200217 a 4500
001 000330005
005 20221203180341.0
008 040423s1976 ||| r 000 0 rus d
040 _aAM, ACSTI
041 0 _arus
245 0 0 _aКонтроль интегральных микросхем на герметичность по большим и средним течам :
_bОбзоры по электронной технике /
_cВ.Н. Ходыкин, С.Н. Пляскина, А.И. Лукашов и др.; Мин-во электронной промышленности СССР.
260 _aМосква :
_bЦНИИ "Электроника",
_c1976.
300 _a16 с.
440 0 _aСерия 7. Технология, организация производства и оборудование.
_nВып. 15
504 _aБиблиогр.: с. 14 - 15 (36 назв.)
650 1 4 _aИнтегральные микросхемы
700 1 _aХодыкин, В.Н.
700 1 _aПляскина, С.Н.
700 1 _aЛукашов, А.И.
710 2 _aМин-во электронной промышленности СССР
999 _c272115
_d272115