000 | 01151nam a2200217 a 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 000330005 | ||
005 | 20221203180341.0 | ||
008 | 040423s1976 ||| r 000 0 rus d | ||
040 | _aAM, ACSTI | ||
041 | 0 | _arus | |
245 | 0 | 0 |
_aКонтроль интегральных микросхем на герметичность по большим и средним течам : _bОбзоры по электронной технике / _cВ.Н. Ходыкин, С.Н. Пляскина, А.И. Лукашов и др.; Мин-во электронной промышленности СССР. |
260 |
_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1976. |
||
300 | _a16 с. | ||
440 | 0 |
_aСерия 7. Технология, организация производства и оборудование. _nВып. 15 |
|
504 | _aБиблиогр.: с. 14 - 15 (36 назв.) | ||
650 | 1 | 4 | _aИнтегральные микросхемы |
700 | 1 | _aХодыкин, В.Н. | |
700 | 1 | _aПляскина, С.Н. | |
700 | 1 | _aЛукашов, А.И. | |
710 | 2 | _aМин-во электронной промышленности СССР | |
999 |
_c272115 _d272115 |