| 000 | 01189nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000329306 | ||
| 005 | 20170516133917.0 | ||
| 008 | 030606s1973 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aКатунина, Юлия Анатольевна. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aАвтоматизированные линии для производства интегральных схем : _bОбзоры по электронной технике / _cЮ.А. Катунина, Б.К. Афанасьев; Министерство электронной промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1973. |
||
| 300 |
_a58 с. _bрис., граф., табл. |
||
| 440 | 0 |
_aТехнология, организация производства и оборудование _nВып. 14 (130) |
|
| 504 | _aБиблиогр.: с. 56 - 57 (59 назв.). | ||
| 650 | 1 | 4 | _aПроизводство интегральных схем |
| 700 | 1 |
_aАфанасьев, Борис Константинович. _926911 |
|
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c271457 _d271457 |
||