| 000 | 01115nam a2200217 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000328635 | ||
| 005 | 20221203180242.0 | ||
| 008 | 040420s1973 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aКаверзнев, В.А. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aСтатическое электричество при производстве полупроводниковых изделий : _bОбзоры по электронной технике / _cВ.А. Каверзнев, Ю.А. Овечкин, В.М. Петров; Мин-во электронной промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1973. |
||
| 300 |
_a38 с. _bил., схем. |
||
| 440 | 0 |
_aТехнология и организация производства, оборудование. _nВып. 20 |
|
| 504 | _aБиблиогр.: 34 - 37 (54 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектротехника |
| 700 | 1 | _aОвечкин, Ю.А. | |
| 700 | 1 | _aПетров, В.М. | |
| 710 | 2 | _aМин-во электронной промышленности СССР | |
| 999 |
_c270829 _d270829 |
||