| 000 | 01030nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000324952 | ||
| 005 | 20221203180003.0 | ||
| 008 | 990619s1972 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aГлазштейн, Л.Я. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aПолимерные резисты для электронолитографии: _bОбзоры по электронной технике / _cЛ.Я. Глазштейн, А.П. Кораблин; Под ред. С.А. Иноземцев; Министерство электронной промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1972. |
||
| 300 |
_a154 с. _bил. |
||
| 440 | 0 |
_aПолупроводниковые приборы _nвып. 12(57) |
|
| 650 | 1 | 4 | _aЭлетронолитография |
| 700 | 1 | _aКораблин, А.П. | |
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 700 | 1 |
_aИноземцев, С.А. _4edt _eРед. |
|
| 999 |
_c267287 _d267287 |
||