| 000 | 01163nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000324943 | ||
| 005 | 20221203180003.0 | ||
| 008 | 990619s1970 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aГлазштейн, Л.Я. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aПроекционная оптическая фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем: _bОбзоры по электронной технике / _cЛ.Я. Глазштейн, Ф.П. Пресс; Ред. А.В. Панюшкин; Министерство электронной промышленности СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bИнститут "Электроника", _c1970. |
||
| 300 |
_a106 с. _bил. |
||
| 440 | 0 |
_aПолупроводниковые приборы _nвып. 2(167) |
|
| 650 | 1 | 4 | _aПроекционная оптическая фотолитография |
| 700 | 1 | _aПресс, Ф.П. | |
| 710 | 2 | _aМинистерство электронной промышленности СССР | |
| 700 | 1 |
_aПанюшкин, А.В. _4edt _eРед. |
|
| 999 |
_c267278 _d267278 |
||