| 000 | 00791nam a2200205 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000324572 | ||
| 005 | 20170519223814.0 | ||
| 008 | 950417s1979 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM, ACSTI | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aДанилин, Б.С. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aИонное травление микроструктур / _cБ.С. Данилин, В.Ю. Киреев; Ред. М.В. Ларионова. |
| 260 |
_aМосква, _bЭлектроника, _c1979. |
||
| 300 |
_a104 с. _bил. |
||
| 440 | 0 |
_aМассовая библиотека инженера "Электроника" _n21 |
|
| 504 | _aБиблиогр.: с. 95-102 (158 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aЭлектроника |
| 700 | 1 | _aКиреев, В.Ю. | |
| 700 | 1 |
_aЛарионова, М.В. _4edt _eред. |
|
| 999 |
_c266944 _d266944 |
||