| 000 | 00963nam a2200193 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000324473 | ||
| 005 | 20170506121811.0 | ||
| 008 | 030606s1980 ||| r 000 0 rus d | ||
| 041 | 1 |
_arus _heng |
|
| 100 | 1 | _aДжоветт, Ч.Е. | |
| 245 | 1 | 0 |
_aТехнология тонких и толстых пленок для микроэлектроники= : _bThe Engineering of Microelectronic Thin and Thick Films: Пер. с англ. / _cЧ.Е. Джоветт; Пер. с англ. М.И. Кондакова; Под. ред. Е.Б. Соколова. |
| 246 | 1 | 1 | _aThe Engineering of Microelectronic Thin and Thick Films |
| 260 |
_aМосква : _bИзд-во "Металлургия", _c1980. |
||
| 300 |
_a112 с. : _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: 120 назв. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aТехнология тонких и толстых пленок |
| 700 | 1 |
_aКондаков, М.И. _eпер. _4trl |
|
| 700 | 1 |
_aСоколов, Е.Б. _eред. _4red |
|
| 999 |
_c266853 _d266853 |
||