| 000 | 01134nam a2200217 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000315806 | ||
| 005 | 20170506115338.0 | ||
| 008 | 040309s1991 ||| r 000 0 rus d | ||
| 040 | _aAM-YeHGA | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aВейко, Вадим Павлович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aЛазерные технологии в микроэлектронике = _bLaser technologies in microelectronics / _cВ.П. Вейко, С.М. Метев ; Софийский ун-т им. К. Охридского ; Ленингр. ин-т точной механики и оптики. |
| 246 | 3 | 1 | _aLaser technologies in microelectronics |
| 260 |
_aСофия : _bИзд-во Болг. акад. наук, _c1991. |
||
| 300 |
_a363 с. _bил. |
||
| 504 | _aБиблиогр.: с. 343-361 | ||
| 653 | 0 | _aМикроэлектроника - Лазерные технологии | |
| 700 | 1 | _aМетев, Симеон Методиев | |
| 710 | 2 | _aСофийский университет им. Климента Охридского | |
| 710 | 2 | _aЛенинградский институт точной механики и оптики | |
| 999 |
_c260394 _d260394 |
||