000 | 01134nam a2200217 a 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 000315806 | ||
005 | 20170506115338.0 | ||
008 | 040309s1991 ||| r 000 0 rus d | ||
040 | _aAM-YeHGA | ||
041 | 0 | _arus | |
100 | 1 | _aВейко, Вадим Павлович | |
245 | 1 | 0 |
_aЛазерные технологии в микроэлектронике = _bLaser technologies in microelectronics / _cВ.П. Вейко, С.М. Метев ; Софийский ун-т им. К. Охридского ; Ленингр. ин-т точной механики и оптики. |
246 | 3 | 1 | _aLaser technologies in microelectronics |
260 |
_aСофия : _bИзд-во Болг. акад. наук, _c1991. |
||
300 |
_a363 с. _bил. |
||
504 | _aБиблиогр.: с. 343-361 | ||
653 | 0 | _aМикроэлектроника - Лазерные технологии | |
700 | 1 | _aМетев, Симеон Методиев | |
710 | 2 | _aСофийский университет им. Климента Охридского | |
710 | 2 | _aЛенинградский институт точной механики и оптики | |
999 |
_c260394 _d260394 |