000			02012nam a2200325 a 4500
001			000303191
005			20221203175928.0
008			040126s2003 ai 000 | rus d
020			_a5-7256-0320-2
041	0		_arus
245	0	0	_aТехнологии и методы исследования структур КНИ / _cБ.Ю.Богданович, В.И.Графутин, В.В.Калугин и др.; М-во образования РФ. М-во РФ по атом. энергии. Моск. гос. ин-т электр. техники ( техн. ун-т ). МИФИ ( гос. ун-т ). ФГУП ГНЦ РФ ин-т теорет. и эксперимент. физики.
260			_aМосква : _bМИЭТ, _c2003.
300			_a288 с. _bграф., рис., табл. ; _c22 см.
504			_aБиблиогр. в конце глав.
650	1	4	_aЭлектроника
650	1	4	_aМикроэлектроника
650	1	4	_aСтруктуры "кремний на изоляторе" ( КНИ )
700	1		_aБогданович, Б.Ю.
700	1		_aГрафутин, В.И.
700	1		_aКалугин, В.В.
700	1		_aНестерович, А.В.
700	1		_aПрокопьев, Е.П.
700	1		_aТимошенков, С.П.
700	1		_aЧаплыгин, Ю.А.
710	2		_aМинистерство образования Российской Федерации _9375180
710	2		_aМинистерство Российской Федерации по атомной энергии
710	2		_aМосковский государственный институт электронной техники ( технический университет )
710	2		_aМосковский инженерно-физический институт ( государственный университет )
710	2		_aИнститут теоретической и экспериментальной физики ФГУП ГНЦ РФ _914873
999			_c250787 _d250787