000			01212nam a2200205 a 4500
001			000266712
005			20190422163938.0
008			030926s1990 ||| r 000 0 rus d
020			_a5-7702-0139-8
040			_aAM-YeHGA
245	0	0	_aПолучение и свойства тонких пленок : _bСб. науч. тр. / _cАН УССР. Ин-т пробл. материаловедения им. И.Н. Францевича ; Науч. совет АН УССР по пробл. "Физика твердого тела" ; Редкол.: А.Ф. Андреева (отв. ред.) и др.
260			_aКиев : _bИПМ, _c1990.
300			_a132 с. _bил.
504			_aБиблиогр. в конце тр.
650	1	4	_aПленки тонкие _xМикроэлектроника
653	0		_aПленки тонкие - Сборники
700	1		_aАндреева, А.Ф. _eред. _4edt
710	2		_aАкадемия наук Украинской ССР
710	2		_aИнcтитут проблем материаловедения им. И.Н. Францевича АН УССР _bНаучный совет АН УССР по проблеме "Физика твердого тела"
999			_c221270 _d221270