| 000 | 00731-am-a2200169-a-4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000213337 | ||
| 005 | 20190422154624.0 | ||
| 008 | 001217s1983 xxu 000 0 rus u | ||
| 020 | _c3.00 | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, :0/12/17 | ||
| 245 | 0 | 0 |
_aЭллипсометрия - метод исследования поверхности / _cАН СССР. Сибирское отд-е. Ин-т физики полупроводников ; Отв. ред. А.В. Ржанов. |
| 260 |
_aНовосибирск : _bНаука. Сиб. отд-ние , _c1983. |
||
| 300 | _a180 с. | ||
| 650 | 4 | _aФизика | |
| 700 | 1 | 0 |
_aРжанов, А.В. _4edt |
| 710 | 2 | _aИн-т физики полупроводников СО АН СССР | |
| 999 |
_c178227 _d178227 |
||