| 000 | 00955-am-a2200157-a-4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | YSU0196109 | ||
| 005 | 20190422153212.0 | ||
| 008 | 990718s1983 xxu 000 0 rus u | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 99/07/18 | ||
| 245 | 1 | 0 |
_aЭлектромагнитные и механические свойства структкр, применяемых в микроэлектронике : _bСборник научных трудов / _cМ-во высш. и сред. спец. образования СССР ; Московский ин-т электронной техники ; Редколл.: Т.Д. Шермергор (гл. ред.) и др. |
| 260 | 0 |
_aМосква : _bИзд-во Московского ин-та электрон. техники, _c1983. |
|
| 300 | _a135 с. | ||
| 650 | 4 | _aРадиоэлектроника | |
| 700 | 1 | 0 |
_aШермергор, Т.Д. _4edt |
| 710 | 2 | _aМосковский ин-т электронной техники | |
| 999 |
_c176585 _d176585 |
||