| 000 | 00903nam a2200193 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 999 |
_c1715007 _d1714985 |
||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20210810065806.0 | ||
| 008 | 201209s1973 ru ad||frf||||000|0|rus|| | ||
| 040 |
_aAM-YeNLA _brus _dAM-YeNLA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 080 | _a776 (NLA) | ||
| 245 | 1 | 0 |
_aСвойства маскирующих пленок в производстве фотошаблонов / _cИ.Н. Рубцов, А.Е. Лихтман, Г.И. Сапегин ; М-во электронной пром-сти СССР. |
| 260 |
_aМосква : _bЦНИИ "Электроника", _c1973. |
||
| 300 |
_a62 с. : _bил., схем. ; _c22 см |
||
| 490 | 0 |
_aОбзоры по электронной технике. Серия : Полупроводниковые приборы _vВып. 4(286) |
|
| 653 | 0 | _aФотошаблоны - Производство | |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 998 | _cNLANAIRA_22 | ||