| 000 | 00814nam a2200157 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000200241 | ||
| 005 | 20190422145320.0 | ||
| 008 | 990616s1989 ||||||||||||||||||||rus d | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 99/06/12 | ||
| 245 | 0 | 0 |
_aФизика, технология и схемотехника СБИС : _bСборник научных трудов / _cМ-во выс. и сред. спец. обр. СССР. Моск. ин-т электрон. техники ; Ред. Ю.А. Парменов. |
| 260 |
_aМосква : _bИзд-во Московского ин-та электрон. техники, _c1989. |
||
| 300 | _a138 с. | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМашиностроение |
| 700 | 1 |
_aПарменов, Ю.А. _eред. _4edt |
|
| 710 | 2 | _aМосковский институт электронной техники | |
| 999 |
_c166272 _d166272 |
||