| 000 | 00907-am-a2200217-a-4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 000191994 | ||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20240925162259.0 | ||
| 008 | 990613s1979 xxu 000 0 rus u | ||
| 020 | _c1.20 | ||
| 040 | _aAM, AiYeEPHG, 99/06/13 | ||
| 041 | 0 | _arus | |
| 100 | 1 | _aКурносов, Анатолий Иванович | |
| 245 | 1 | 0 |
_aТехнология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : _bУчебное пособие для вузов / _cА.И. Курносов, В.В. Юдин. |
| 250 | _a2-е изд., перераб. и доп. | ||
| 260 |
_aМосква : _bВысшая школа , _c1979. |
||
| 300 |
_a367 с. : _bил. |
||
| 650 | 1 | 4 | _aПолупроводниковое производство |
| 700 | 1 | _aЮдин, Владимир Васильевич | |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 999 |
_c159401 _d159401 |
||