000			01032nam a2200205 a 4500
999			_c1543562 _d1543544
003			AM-YeNLA
005			20190329142216.0
008			190329s1983 ru fd||fr|||||000|||rus||
040			_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA
041	0		_arus
080			_a621.38 (NLA)
245	0	0	_aЭлектромагнитные и механические свойства структур, применяемых в микроэлектронике : _bСборник научных трудов / _cМин-во высш. и сред. специаль. образ. СССР ; Моск. ин-т электронной техн.
260			_aМосква : _b[Б.и.], _c1983.
300			_a135 с. : _bчерт., табл. ; _c20 см.
650	1	4	_aМикроэлектроника
710	2		_aМинистерство высшего и среднего специального образования СССР
710	2		_aМосковский институт электронной техники
942			_2udc _cBK