000 01422nam a2200265 a 4500
999 _c1541648
_d1541630
003 AM-YeNLA
005 20190327093121.0
008 190327m1976 ru |||||r|||||001|0|rus||
040 _aAM-YeNLA
_brus
_cAM-YeNLA
041 0 _arus
080 _a621.38 (NLA)
100 1 _aЧерняк, Михаил Исаакович
245 1 0 _aТехнологические процессы обработки стекла в электровакуумной промышленности /
_cМ.И. Черняк; М-во электронной пром-сти СССР; Ин-т "Электроника".
260 _aМосква :
_bБ. и.,
_c1976.
300 _aЧ. ;
_c21 см.
490 0 _aОбзоры по электронной технике. Серия 7: Технология и организация производства
_vВып. 16(430)
504 _aБиблиогр.: с. 19-38(Часть 7)
505 1 0 _gЧасть 7 (1976, 38 с.) :
_tХимическая обработка стекла
650 1 4 _aМикроэлектронные схемы, интегральные
650 1 4 _aЭлектровакуумная промышленность
_xОбработка стекла
710 2 _aМинистерство электронной промышленности СССР
710 2 _aИнститут "Электроника"
_914873
942 _2udc
_cBK
998 _cNLAVARDUSH_27