000			01178nam a2200205 a 4500
999			_c1541004 _d1540986
003			AM-YeNLA
005			20190326153156.0
008			190326s1985 uz ||||fr|||||||||||rus||
040			_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA
041	0		_arus
080			_a621.38(NLA)
245	0	0	_aФизико-технологические основы микроэлектроники : _bСборник научных трудов / _cМ-во высш. и сред. спец. образ. УзССР ; Ташкентский политехнический ин-т им. Абу Райхана Беруни ; Редкол.: Р.С. Касымова (отв. ред.) и др.
260			_aТашкент : _bИзд-во Ташкентского ПИ , _c1985.
300			_a96 с. : _bил. ; _c20 см.
650	1	4	_aМикроэлектроника
700	1		_aКасымова, Р.С. _eред. _4edt
710	2		_aТашкентский политехнический инcтитут им. Абу Райхана Беруни :
710	2		_aМинистерство вышего и среднего специального образования Узбекской ССР :
942			_2udc _cBK