000			01251nam a2200205 a 4500
999			_c1540931 _d1540913
003			AM-YeNLA
005			20190326144941.0
008			190326s1969 un fd||fr|||||000|||rus||
040			_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA
041	0		_arus
080			_a621.38 (NLA)
245	0	0	_aСовершенствование технологии производства полупроводниковых приборов / _cГос. плановый ком. совета мин. Украинской ССР ; Украин. научно-исслед. ин-т научно-техн. информ. и технико-экономич. исслед.
260			_aКиев : _bУкрНИИНТИ, _c1969.
300			_a59 с. : _bчерт., табл. ; _c21см.
650	1	4	_a Полупроводниковые приборы _v Производство
710	2		_aГосударственный плановый комитет совета министров Украинской ССР
710	2		_aУкраинский научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований
942			_2udc _cBK