| 000 | 00941nam a2200229 a 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 999 |
_c1540595 _d1540577 |
||
| 003 | AM-YeNLA | ||
| 005 | 20190326110654.0 | ||
| 008 | 190326s1988 ru ad|||r|||||001|0|rus|| | ||
| 040 |
_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA |
||
| 041 | 0 | _arus | |
| 080 | _a621.38 (NLA) | ||
| 100 | 1 | _aРаков, Эдуард Григорьевич | |
| 245 | 1 | 0 |
_aХимия в микроэлектронике : _b(Химические осаждение из газовой фазы) / _cЭ.Г. Раков, В.В. Тесленко. |
| 260 |
_aМосква : _bЗнание, _c1988. |
||
| 300 |
_a48 с. : _bил., черт., табл. ; _c24 см. |
||
| 490 | 0 |
_aНовое в жизни, науке, технике. Химия _v4/1988 |
|
| 504 | _aБиблиогр.: с. 41-42 (9 назв.) | ||
| 650 | 1 | 4 | _aМикроэлектроника |
| 700 | 1 | _aТесленко, Владимир Викторович | |
| 942 |
_2udc _cBK |
||
| 998 | _cNLAVARDUSH_27 | ||