000			01138nam a2200217 a 4500
999			_c1540259 _d1540241
003			AM-YeNLA
005			20190325155341.0
008			190325s1981 ru ||||fr||| 000|0|rus||
040			_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA
041	0		_arus
080			_a621.38(NLA)
245	0	0	_aФизические явления в технологии микроэлектроники : _bСборник научных трудов / _cРедактор Э.М. Пушкина ; Министерство вышего и среднего специального образования СССР ; Моск. ин-т электрон. техники .
260			_aМосква : _bМИЭТ, _c1981.
300			_a103 с. : _bил. _c20 см.
504			_aБиблиогр. ст.102:
650	1	4	_aМикроэлектронная аппаратура
700	1		_aПушкина, Э.М. _eредактор _4edt
710	2		_aМосковский институт электронной техники :
710	2		_aМинистерство вышего и среднего специального образования СССР :
942			_2udc _cBK