000			01533nam a2200289 a 4500
999			_c1540081 _d1540063
003			AM-YeNLA
005			20190325141445.0
008			190325s1971 ru fd||fr|||||000|||rus||
040			_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA
041	0		_arus
080			_a621.38 (NLA)
245	0	0	_a2Основы микроэлектроники и технологии производства микросхем : _b(Учебное пособие) / _cН.А. Барканов, И.Е. Ефимов, И.Я. Козырь, О.В. Митрофанов, Г.К. Самохвалов, Ю.А. шер ; Под ред.: И.Е. Ефимова ; Мин. высш. и сред. специаль. образ. СССР, ; Моск. ин-т электронной техн.
260			_aМосква : _b[б.и.], _c1971.
300			_aЧасть ; _c20 см.
505	0	0	_gЧасть 1 (1971 ; черт., табл., 292 с.) _gЧасть 2 (1971 ; черт., табл., 348 с.)
650	1	4	_aМикроэлектроника
700	1		_aБарканов, Н.А
700	1		_aКозыр, И.Я.
700	1		_aМитрофанов, О.В.
700	1		_aСамохвалов, Г.К.
700	1		_aШер, Ю.А.
700	1		_aЕфимов, И.Е. _eавтор _4aui _eредактор _4edt
710	2		_aМинистерство высшего и среднего специального образования СССР
710	2		_aМосковский институт электронной техники
942			_2udc _cBK