000 01037nam a2200229 a 4500
999 _c1539248
_d1539230
003 AM-YeNLA
005 20190322115410.0
008 190322s1981 ru d||||r|||||001|0|rus||
040 _aAM-YeNLA
_brus
_cAM-YeNLA
041 0 _arus
080 _a621.38 (NLA)
100 1 _aМоряков, Олег Сергеевич
245 1 0 _aУстройство и наладка оборудования полупроводникового производства :
_bУчебник для средних профессионально-технических училищ /
_cО.С. Моряков.
250 _a3-е изд., перераб. и доп.
260 _aМосква :
_bВысшая школа,
_c1981.
300 _a336 с. :
_bчерт., табл. ;
_c21 см.
490 0 _aПрофтехобразование. Полупроводники
504 _aБиблиогр.: с. 334 (9 назв.)
650 1 4 _aПолупроводниковое производство
942 _2udc
_cBK
998 _cNLAVARDUSH_27