000			01095nam a2200217 a 4500
999			_c1538714 _d1538696
003			AM-YeNLA
005			20190322091430.0
008			190322s1983 ru d||||r|||||001|0|rus||
040			_aAM-YeNLA _brus _cAM-YeNLA
041	0		_arus
080			_a621.38 (NLA)
245	0	0	_aМоделирование, управление, контроль при производстве интегральных схем : _bСборник научных трудов / _cМ-во высшего и сред. спец. образ. СССР; Моск. ин-т электронной техники.
260			_aМосква : _bБ. и., _c1983.
300			_a100 с. : _bчерт., табл. ; _c20 см.
504			_aБиблиогр. после работ
650	1	4	_aИнтегральные схемы _xПроизводство
710	2		_aМинистерство высшего и среднего специального образования СССР
710	2		_aМосковский институт электронной техники
942			_2udc _cBK
998			_cNLAVARDUSH_27